微观装置的制造及其处理技术
  • 一种高分子材料表面褶皱结构的构筑方法与流程
    本发明涉及一种高分子材料表面褶皱结构的构筑方法。材料表面可控的构筑微、纳米级褶皱,尤其是高分子材料表面微结构的仿生制备,在光学调控、智能传感器、表面增强拉曼散射、荧光增强效应、微纳机器人、表面浸润性、防雾除冰、表面防尘领域具有重要意义,是纳米科技领域的重要研究方向。目前在高分子材料表面构筑...
  • 集成于纳米线的片上光谱仪及其探测器阵列的制备方法与流程
    本发明涉及一种半导体纳米材料、微纳光学、电学元件和系统,尤其涉及一种微型的芯片集成高探测率的光谱仪以及探测阵列的制备方法。在涉及到光与物质相互作用的科学和工程问题中,光谱分析是关键的研究工具。最近二十年,微型化乃至片上级的光谱探测分析系统的需求越来越急切,在微型化的过程中,对器件结构、分光...
  • 具有多种耦合技术的微型尺寸力传感器的制作方法
    本公开的示例性实施方案整体涉及传感器,并且更具体地涉及力传感器。工业和商业应用,包括工业和医疗装备,越来越多地利用力传感器来确定所施加的力。然而,传统的力传感器设计不能容易且成本效益高地集成到多于一个应用区域或装备类型中。此外,传统的力传感器设计对于很多应用来说通常太大。申请人已经识别出许...
  • 提供多个纳米线的装置和方法与流程
    本发明涉及用于提供多个纳米线的装置和方法。已知可以以多种方式获得纳米线的多种装置和方法。举例来说,纳米线可以通过电流法或通过从薄膜技术中的已知方法获得。许多已知方法共有一个事实,即它们需要复杂的机器,因此,尤其是通常仅(能)在实验室或洁净室中使用。特别地,需要一种行业兼容的设备,该设备可以直接在任...
  • 一种制备平行等宽微结构的方法与流程
    本发明涉及一种制备平行等宽微结构的方法,特别涉及一种通过控制剥离角度简单快速的制备出有序的平行等宽的裂纹、印记或者凹槽结构的方法,属于纳米技术以及薄膜材料基本物性领域。纳米尺度的裂纹阵列或者凹槽阵列,在纳米有非常高的应用价值。比如微流控就依靠相对有序的裂纹阵列输运或者筛选一些微小颗...
  • 用于低应力MEMS封装的粘接结构、封装结构及其制造方法与流程
    本发明涉及低应力mems封装,尤其涉及一种针对惯性传感器的低应力mems封装的三维粘接结构和封装结构,以及用于实现低应力mems封装的粘接结构的集成制造方法。mems惯性传感器件对封装工艺过程中硅芯片中产生的应力很敏感,这与存在应力时的芯片翘曲有关。在芯片贴片封装工艺中,一般有焊接...
  • 一种MEMS器件结构及制造方法与流程
    本发明属于微电子机械,具体涉及一种mems器件结构及其制造方法。随着物联网的发展,微机电系统(microelectro-mechanicalsystems,mems)器件,比如陀螺仪、加速度计、压力传感器、气体传感器等获得越来越广泛地关注。为了保护传感器的核心部件不受外界环境的干扰...
  • 用于制造微机电系统的方法与流程
    相关申请的交叉引用本申请要求根据35usc119(e)在2017年4月4日提交的申请序列号62/481,635的权益,其以全文引用的方式并入本文。本发明涉及mems,更具体地涉及mems的晶圆键合。微机电系统(mems)(例如,运动传感器、内部传感器和可移动镜)被广泛使用。众所周知,mem...
  • 微型流路器件的制作方法
    本公开涉及一种微型流路器件。已知有具有由多个流路部件划定形成的被称为微型流路的微米级宽度的流路的器件(以下,称为“微型流路器件”。)。例如,日本专利第5700460号公报、日本专利第5771962号公报中公开有在微型流路内培养细胞的细胞培养器件或作为微型流路芯片使用了微型流路器件的结构。并...
  • 一种提高射频MEMS开关中聚酰亚胺牺牲层平整度的方法与流程
    本发明属于聚酰亚胺牺牲层制备方法,具体涉及一种提高射频mems开关中聚酰亚胺牺牲层平整度的方法。射频mems开关较传统的机械式和电子式开关而言,具有体积小、质量轻、功耗低、插损小、隔离度高、频带宽、线性度好和集成度高等优点,可以广泛的应用于移相器、衰减器、滤波器、天线等射频器件中,...
  • 微流体器件的制备方法与流程
    本申请是“申请号为:201810771605.9,申请日为2018年7月13日,发明名称为:微流体器件及其制备方法、微流体系统”的发明申请的分案申请。本发明涉及微流体领域,特别是涉及微流体器件的制备方法。传统的微流体器件的制备方法主要有3d直写/打印技术,微流道注入工艺,压印技术以及激光加...
  • 微流体器件、微流体系统的制作方法
    本申请是“申请号为:201810771605.9,申请日为2018年7月13日,发明名称为:微流体器件及其制备方法、微流体系统”的发明申请的分案申请。本发明涉及微流体领域,特别是涉及微流体器件、微流体系统。传统的微流体器件的制备方法主要有3d直写/打印技术,微流道注入工艺,压印技术以及激光...
  • 微流体器件及其制备方法、微流体系统与流程
    本发明涉及微流体领域,特别是涉及微流体器件及其制备方法、微流体系统。传统的微流体器件的制备方法主要有3d直写/打印技术,微流道注入工艺,压印技术以及激光加工技术等。但是,3d直写/打印技术无法做到好的水氧阻隔和封装,容易在表面形成金属氧化层;微流道注入工艺工艺复杂,且图形化和流道构型限制较...
  • 一种具有TSV结构的MEMS芯片及其圆片级气密性封装方法与流程
    本发明涉及一种mems圆片级气密性封装的工艺方法,具体是一种具有tsv结构的mems芯片及其圆片级气密性封装方法,属于芯片封装的。mems(micro-electro-mechanicalsystem)芯片中通常具有可动结构,非常脆弱,需要通过密封空腔封装的方法保护,传统的封装方法...
  • 摆动体的摆动的幅度检测、幅度调节和方向检测的制作方法
    本发明的示例涉及用于检测摆动体的摆动幅度、调节摆动体的摆动幅度和/或检测摆动体的摆动方向的设备和方法,该摆动体围绕摆动轴线摆动。本发明的示例涉及与mems元件(mems=microelectromechanicalsystem=mikro-elektro-mechanischessystem微机电...
  • 基于SPR转换的双响应金纳米膜、其制备方法及应用与流程
    本发明涉及一种二维纳米材料,特别涉及一种基于spr转换的双响应金纳米膜及其制备方法和应用,属于二维纳米材料。纳米材料由于其具有独特的体积效应、表界面效应和量子尺寸效应等特性而引起了各科研人士的极大关注。二维贵金属纳米材料(如二维金纳米粒子单层膜)因粒子间的集成效应而表现出特异的电学...
  • 一种复合SERS基底及其制备方法和应用与流程
    本发明涉及微纳结构加工,具体涉及一种复合sers基底及其制备方法和应用。在农业生产中,为提高农作物的产量,会大量的施用杀虫、杀菌、杀灭有害动物(或杂草)的农药。这些农药流失到环境中,会造成严重的环境污染,而且农作物自身的农药残留对消费者的健康存在潜在:。目前常用的检测食品中农药残...
  • 一种提高超疏水表面水下空气层稳定性的方法与流程
    本发明涉及超疏水表面,具体而言,尤其涉及一种提高超疏水表面水下空气层稳定性的方法。超疏水表面在水下船体防污、减阻以及防冰等领域具有重要的应用,其中超疏水表面水下空气层的稳定性是其功能发挥的最关键因素。超疏水表面在水下时,流体流动、静压力和浸泡时间等会加快空气层的扩散甚至流失,因此超...
  • 一种MEMS层叠器件微波端口实现的工艺方法与流程
    本发明属于微机电系统封装,特别是一种mems层叠器件微波端口实现的工艺方法。在射频微系统中,通过三维堆叠的方式集成了有源芯片、无源集成器件(ipd)、体声波器件(fbar)以及微机电系统(mems)传感器等多领域器件或芯片。其中测试端口的引出一般是利用抽头的方式通过硅通孔(tsv)...
  • MEMS传感器元件和对应的传感器、芯片以及其制造方法与流程
    本发明涉及一种具有可偏移地布置的膜片的mems传感器元件。本发明还涉及一种mems传感器。本发明还涉及一种具有至少一个mems传感器元件的芯片。本发明还涉及一种用于制造具有可偏移地布置的膜片的mems传感器元件的方法。尽管本发明通常可以应用在具有带可偏移地布置的膜片的传感器元件的任意传感器...
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